品牌 | FAULHABER/德國馮哈伯 | 應用領域 | 化工,石油,電子/電池,電氣,綜合 |
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阿斯塔克半導體行業配套傳動模組是專為半導體制造及相關精密設備設計的傳動解決方案,集成了高精度減速機、精密電機、傳感器及控制系統,能夠實現微米級甚至納米級的運動控制精度,滿足半導體工藝對設備穩定性和精度的嚴苛要求。采用諧波減速機、行星減速機等精密傳動機構,結合高分辨率編碼器,實現±1μm以內的重復定位精度,確保半導體設備在晶圓加工、檢測等環節的精準操作。
阿斯塔克半導體行業配套傳動模組特點:
薄型、小巧
實現了機械、裝置小型化、構造簡單化。
內置剛性性能優異的支撐裝置
用途:
半導體制造設備 : 搬運機器人、檢查平臺
液晶制造設備 : 搬運機器人、檢查平臺
光產業相關裝置
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